高精度紫外曝光光刻机半导体光刻曝光设备
高精度紫外曝光光刻机半导体光刻曝光设备
产品价格:¥16.00(人民币)
  • 规格:白色
  • 发货地:上海上海
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    商铺名称:米歇尔集团上海工程技术有限公司

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    商品详情
      产品参数
      品牌米歇尔MICHELL
      是否支持加工定制
      是否进口
      B泵压盘直径1mm
      包装规格标准
      保修期3年
      可售卖地全国

      紫外曝光机
      型号:URE-2000/17
      简单介绍:曝光机:(英文名:Mask ALIGENER)又名曝光光刻机, 该型号光刻机创新采用采用双目双视场显微镜对准;球碗调平,单片机控制,触摸开关,操作方便、实用性强。整机具有性能可靠、操作方便等特点。

      一.技术特征

      1、采用国内独创的多点梯形反射镜聚光和实现均匀照明,具有高的能量收集率和高均匀性照明性;

      2、采用进口直流高压汞灯,光功率稳定;

      3、采用i线(365nm)紫外曝光光源,波长单一,光谱纯净;

      4、高倍率双目双视场CCD显微镜和19英寸宽屏液晶,可同时观察对准过程,适用大视场高倍率对准;

      5、采用薄膜开关操作,数字设定曝光时间,倒计时数显,曝光量可精确控制;

      6、配置无油真空泵,无污染,噪音小;

      7、关键器件采用高质量性能产品,整机技术保障、可靠性高。

    0571-87774297