EV-M

技术参数

EV-M20N

最大抽气速率(L/min)

1,800

功率(极限压力时)(kW)

1.2

尺寸(W×D×H mm)

370×770×450

重量(kg)

170

EV-M102N

最大抽气速率(L/min)

10,000

功率(极限压力时)(kW)

1.8

尺寸(W×D×H mm)

380×790×752

重量(kg)

320

EV-M202N

最大抽气速率(L/min)

20,000

功率(极限压力时)(kW)

1.9

尺寸(W×D×H mm)

380×820×752

重量(kg)

360

EV-M302N

最大抽气速率(L/min)

30,000

功率(极限压力时)(kW)

2.3

尺寸(W×D×H mm)

380×910×830

重量(kg)

400

EV-M502N

最大抽气速率(L/min)

50,000

功率(极限压力时)(kW)

2.1

尺寸(W×D×H mm)

485×975×870

重量(kg)

500

EV-M802N

最大抽气速率(L/min)

80,000

功率(极限压力时)(kW)

2.8

尺寸(W×D×H mm)

630×1,000×1,030

重量(kg)

740

EV-M505SF

最大抽气速率(L/min)

50,000

功率(极限压力时)(kW)

3.9

尺寸(W×D×H mm)

485×990×910

重量(kg)

580

EV-M805SF

最大抽气速率(L/min)

80,000

功率(极限压力时)(kW)

4.6

尺寸(W×D×H mm)

630×1,100×1,070

重量(kg)

820

EV-M1205SF

最大抽气速率(L/min)

110,000

功率(极限压力时)(kW)

5.3

尺寸(W×D×H mm)

630×1,240×1,044

重量(kg)

870

产品特点

产品系列丰富，可应对多种工艺、抽气速率需求

兼顾高负荷与低功耗

可应对腐蚀性气体（标配耐腐蚀材料）

应用领域

可应用于在半导体、液晶和太阳能电池制造工艺中有副产物生成的重制程工艺。