德国ADL离子源电源09Z011 GG 12 Beam
德国ADL离子源电源09Z011 GG 12 Beam
产品价格:¥54000.00(人民币)
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      德国ADL离子源电源09Z011 GG 12 Beam


      ?一、 公司及产品概述?

      • ?公司信息?:ADL Analoge & Digitale Leistungselektronik GmbH,位于德国达姆施塔特(Darmstadt),自1992年起运营。

      • ?产品用途?:为离子束和等离子体工艺技术提供电源,广泛应用于蚀刻、溅射等领域,特别是在微电子、光学和传感器等创新应用中。

      • ?核心特点?:所有电源单元均提供模拟或数字接口,并可根据客户需求定制其他输出电压或输出功率。

      ?二、 产品系列及主要型号?
      手册列出了多个电源型号,按功能主要分为以下几类:

      1. ?加速器电源 (Accelerator)?:

        • ?GG 03?:输出功率300W,输出电压-1000V,输出电流300mA。

        • ?GG 03.1?:输出功率30W,输出电压-1000V,输出电流30mA。

        • ?GG 08?:输出功率800W,输出电压-1000V,输出电流800mA。

      2. ?束流电源 (Beam)?:

        • ?GG 12?:输出功率1.2kW,输出电压+2000V,输出电流1A。

        • ?GG 12.1?:输出功率200W,输出电压+2000V,输出电流100mA。

      3. ?中和器电源 (Neutralizer)?:

        • ?GIP 10?:输出功率990W,输出电压33V,输出电流30A。

        • ?GIP 10.1?:输出功率25W,输出电压25V,输出电流1A。

      4. ?放电电源 (Discharge)?:

        • ?GDI 09?:输出功率900W,输出电压150V(对地浮动2kV),输出电流6A。

      5. ?阴极电源 (Cathode)?:

        • ?GC 10?:输出功率1kW,输出电压35V(对地浮动2kV),输出电流30A。

      ?三、 通用技术规格?

      • ?显示与控制?:大多数型号配备3?位数码管,用于显示电压和电流。操作模式为电流或电压控制(部分型号支持功率控制),可通过前面板手动设置或通过控制接口外部设置。

      • ?设定点与精度?:设定范围为标称值的0-100%,输出电压或电流的输出精度为标称值的±1%。

      • ?电源输入?:标准为230V AC(±10%),50/60Hz,带保护接地(PE)。功耗根据型号不同,从100VA到1500VA不等。

      • ?冷却与机械?:

        • 采用内置风扇进行风冷,环境工作温度为40°C。

        • 运行噪音低于70 dB(A)。

        • 标准机箱尺寸:宽度218mm(半19英寸),高度132.5mm(3HU),深度560mm。

        • 重量(不含包装):11kg。

      ?四、 控制接口选项?
      手册提供了多种可选的控制接口模块,包括:

      • ?AS4?:模拟接口,用于U、I或P调节。

      • ?AS4F?:快速数据传输的模拟接口。

      • ?AS6?:模拟接口,用于U、I、P限制设定。

      • ?Profibus DP?

      • ?EtherCAT®?

      • ?RS232/485


      ADL09Z001

      ADL09Z002

      ADL09Z005

      ADL09Z011

      ADL09Z012

      ADL09Z021

      ADL09Z022

      ADL09Z031

      ADL09Z051


      德国ADL离子源电源09Z011 GG 12 Beam

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