ASML 4022.472.42583固态激光器模

ASML 4022.472.42583固态激光器模

ASML 4022.472.42583固态激光器模参数详解ASML 4022.472.42583固态激光器模块是半导体制造设备中的一款重要组件，其优越的性能和稳定的输出使其在微电子行业中备受青睐。以下是该激光器模块的详细参数介绍：基本参数型号：ASML 4022.472.42583类型：固态激光器波长：355 nm功率范围：50 W 至 150 W（可根据具体需求调节）工作电压：220 VAC ±10%工作电流：20 A 至 30 A尺寸：450 mm × 350 mm × 200 mm（长 × 宽 × 高）重量：约 25 kg光学性能参数光束质量：M2 < 1.2，确保高质量的光束聚焦效果光束发散角：< 0.5 mrad光斑直径：在聚焦位置处可达到 < 20 μm偏振态：线偏振，偏振度 > 99%稳定性：功率稳定性优于 ±2% RMS，长时间工作下保持稳定输出热管理参数冷却方式：水冷系统，确保激光器在高功率工作下保持低温运行冷却液温度范围：15°C 至 25°C冷却液流量：≥ 5 L/min热耗散功率：约 1.5 kW控制与接口控制方式：通过数字控制接口实现远程控制和监控通信接口：以太网、RS-232 和 GPIB 接口，便于与其他设备集成触发模式：支持内部触发和外部触发，灵活适应不同应用场景反馈机制：内置功率监测和反馈系统，实时调整输出稳定性环境要求工作温度：15°C 至 35°C工作湿度：20% 至 80% RH（无凝露）存储温度：-20°C 至 60°C存储湿度：10% 至 90% RH（无凝露）安全特性防护等级：IP54，防尘防水安全认证：符合 CE、FDA 和 IEC 60825-1 标准，确保使用安全保护机制：过温保护、过流保护、欠压保护等多重保护机制其他特性使用寿命：大于 20,000 小时，减少更换频率，提高设备利用率维护需求：模块化设计，便于拆卸和维护，降低维护成本ASML 4022.472.42583固态激光器模块凭借其稳定的性能、高效的光束质量和可靠的安全特性，广泛应用于光刻机、半导体检测设备以及其他高精度加工设备中。通过详细了解其参数，用户可以更好地将该激光器模块应用于实际生产，提高生产效率和产品质量。