设备用途:

清洗槽用于6/8吋兼容，集成电路制造工艺的最終清洗。配合LOAD and

UNLOAD的上下料，实现干進干出，每批次50枚Cassette Type的高效清洗。共有三种工艺槽，三水槽+一个干燥单元：

1个DHF清洗槽、1个OF槽、1个SC-1槽、1个QDR槽、1个SC-2槽、1个QDR槽、1个干燥槽。

设备功能:

Chemical BATH: 自動換酸，自動洗槽，自動槽內配比。

DIW BATH : Pre Flow and After Change Function。

S/D : 6/8 Inch 自動換位，旋干。

機械手臂:Chuck Open/Close Type，Speed 為可控變動；

Scheduler: 排程計算，实现多批次同時清洗，不發生Process Over Time。

Safety: Door，TEMP，LEVEL，Exhaust…等等INTERLOCK Safety。