四管扩散炉
四管扩散炉
产品价格:¥1.00(人民币)
  • 供应数量:1
  • 发货地:山东-青岛市
  • 最小起订量:1台
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    企业证件:通过认证

    商铺名称:青岛福润德微电子设备有限公司

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    商品详情
      ◆工作温度:300~1300℃?
      ??◆有效口径根据用户扩散片确定,可订制?
      ??◆恒温区长度:1080mm(可根据用户要求定制)?
      ??◆温区精度(静态闭管测试):?
      ??600℃<工作温度<1200℃:±0.5℃?
      ??300℃≤工作温度≤600℃:±1℃?
      ??◆单点温度稳定性(静态闭管测试):?
      ??600℃<工作温度<1200℃:±0.5℃/24h?
      ??300℃≤工作温度≤600℃:±1℃/24h?
      ??◆温度斜变能力:?
      ??可控升温速度(300~1300℃):15℃/min?
      ??降温速度(1300~900℃):5℃/min?
      ??◆气体流量设定精度:±2%FS?
      ??◆气路系统气密性:1×10-7PA.m3/s?
      ??◆自动送料装置行程:~2000mm?
      ??速度:5~1000mm/min?
      ??SiC浆承重 19kg?
      ??◆装片数量 400片/管?
      ??◆净化台洁净度 100级(10000级厂房)?
      ??◆三相五线制 380V±10%,50Hz±10%Hz;?
      ??◆冷却水:2~4Kgf/cm2,~8L/min?
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